新华社上海５月２１日电（记者高少华）上海华力集成电路制造有限公司建设和营运的１２英寸集成电路生产线项目２１日实现首台工艺设备——光刻机搬入，这也是目前中国大陆集成电路生产线上最先进的浸没式光刻机。

  华力１２英寸先进生产线建设项目总投资３８７亿元人民币，被列为国家《“十三五”集成电路产业重大生产力布局规划》，也是“十三五”期间上海市重大产业项目和上海市重大工程。

  华力１２英寸先进生产线建设项目主要从事逻辑芯片生产，重点服务国内设计企业先进芯片的制造需求。

  根据规划，该项目将建成月产能４万片的１２英寸集成电路芯片生产线，工艺覆盖２８－１４纳米技术节点。项目计划于２０２２年底达到产能目标。

  项目建成后，上海华力集成电路制造有限公司母公司——上海华虹集团的集成电路制造能力将覆盖０．５微米－１４纳米各工艺技术平台。